歐姆龍OMRON區域傳感器，OMRON

保護電路  電源逆接保護，輸出短路保護，降低相互干涉功能（異常周波轉換開關型）
應答速度  12ms以下  6ms以下
使用環境照明  受光面照明度白熾燈：3,000lx以下，太陽光：10,000lx以下  
周圍溫度  動作時：-10～+55℃、保存時：-40～+70℃ （不結冰、結露）
周圍濕度  動作時：35～95％RH保存時：35～95％RH （不結露）
緣阻抗  20MΩ以上（DC500V兆歐表）
耐電壓  AC1,000V 50/60Hz 1min  
振動（耐久）   10～55Hz 復振幅1.5mm X、Y、Z各方向 2h
沖擊（耐久）   500m/s2 X、Y、Z各方向 3次  
保護構造  IEC規格 IP62
連接方式  導線引出式（標準線長3m）  接插件型  導線引出式 （標準線長3m）

區域傳感器是指能感受(或響應)規定的被測量并按照一定規律轉換成可用信號輸出的器件或裝置稱為區域傳感器。傳感器通常由直接響應于被測量的敏感元件和產生可用信號輸出的轉換元件以及相應的電子線路所組成。 能對區域信號進行采集的傳感器稱為區域傳感器。

與晶圓片托架的接觸面使用了耐化學藥品性強的氟素樹脂

光學系統幾乎可穩定檢測所有晶圓片托架

采用抗干擾光的變調光方式

傳感器發生異常時，可推測停機的異常原因，因此可在確定異常部位及處理方法的狀態下前往現場，從而在短時間內恢復裝置的運行。此外，斷線檢測除了輸出線外，還可無條件檢測電源線。

對于難以檢測的工件（曲面、光澤、鑄件表面），在設計/啟動時的誤檢測需要重新選定傳感器或調整設置。E3AS系列不受曲面、光澤、鑄件表面的影響，可穩定檢測，縮短設計/啟動時間

檢測低反射率薄工件時，可能無法檢測出工件與背景間的段差，導致無法穩定檢測。 E3AS-HL則不易受材質和顏色影響，能夠檢測出段差。

檢測距離會因工件的材質和顏色發生變化，導致無法穩定檢測。E3AS-HL則不易受材質和顏色影響，無需為每個工件調整傳感器。

在新設計和設備改造的時候，由于傳感器的設置制約，設備復雜化，有時需要設計工數。使用E3AS系列，擴大傳感器的可設置場所，削減設計、啟動工數。

傳感器外殼采用不銹鋼（SUS316L），并以歐姆龍的“不同材質激光熔接技術"提高了不銹鋼和樹脂的附著力和密封性。

歐姆龍OMRON區域傳感器，OMRON